◆ 硅片Si、化合物(GaAs, InP, SiC, GaN)樣片表面缺陷的檢查分析,包含微粒、劃傷、坑點(diǎn)、污染、痕跡,同時(shí)也可以添加PL功能用以檢測(cè)某些外延EPI缺陷。該設(shè)備可以兼容透明片和不透明片。
KLA Candela?8720面缺陷檢測(cè)設(shè)備是針對(duì)半導(dǎo)體材料的表面缺陷的檢查分析儀器。該設(shè)備利用雙束激光掃描樣品的整個(gè)表面,通過(guò)5個(gè)頻道(散射光頻道、反射光頻道、相移頻道、Z頻道以及PL頻道)的探測(cè)器所收集到的信號(hào),快速的將缺陷(包括微粒、劃傷、坑點(diǎn)、污染、痕跡等)進(jìn)行分類,統(tǒng)計(jì)每一種缺陷的數(shù)量并且量測(cè)出相應(yīng)的缺陷尺寸,后給出整個(gè)表面的缺陷分布圖以及檢測(cè)報(bào)告。根據(jù)預(yù)先設(shè)定的標(biāo)準(zhǔn),可以給出檢測(cè)樣品合格與否的判斷。同時(shí)8720型號(hào)可以針對(duì)化合物GaN外延材料進(jìn)行高精度的外延缺陷(極細(xì)裂痕,凹坑等)檢測(cè),在化合物外延領(lǐng)域擁有很好的市場(chǎng)占有率。
◆ 標(biāo)準(zhǔn)夾具從2英寸到8英寸的樣品;
◆ 可用于不透明及透明的材料的表面缺陷檢測(cè);
◆ 可偵測(cè)的缺陷類型:顆粒,劃傷,突起,凹坑,水漬等;
◆ 可偵測(cè)化合物GaN外延材料的專有外延缺陷;
◆ 自動(dòng)傳輸模式8720;
◆ 高精度的顆粒缺陷靈敏度(60nm直徑);
◆ 強(qiáng)大的自動(dòng)缺陷分類、統(tǒng)計(jì)分布和判別軟件。缺陷分布圖以及檢測(cè)報(bào)告內(nèi)的每一個(gè)缺陷都有4個(gè)頻道拍到的照片儲(chǔ)存在設(shè)備內(nèi)部,這些照片可以輔助技術(shù)人員分析缺陷的成因及進(jìn)行相關(guān)驗(yàn)證。
◆ 內(nèi)部的過(guò)濾器可以保證內(nèi)部的潔凈環(huán)境為10級(jí),防止內(nèi)部污染的同時(shí)該儀器還能長(zhǎng)期保持穩(wěn)定準(zhǔn)確。擁有優(yōu)秀的售后服務(wù)保障體系。
◆ 化合物半導(dǎo)體:GaAs,InP, SiC,GaN
◆ 硅基器件:功率器件,MEMS,射頻MEMS
◆ 光通訊:石英材料類