設備簡介：
◆ Candela?8420/8400系統服務于光電子、LED、通信和其他化合物半導體市場。改設備采用經典的Candela多通道檢測技術和嚴謹的缺陷分類算法以為客戶實現產品良率為目的。Candela?8420/8400技術采用專有的OSA(光學)表面分析器)架構，通過測量散射強度，形貌變化，樣品表面反射率和相位計算的方式，用以實現大范圍的自動檢測和缺陷分類(DOI)；統計每一種缺陷的數量并且量測出相應的缺陷尺寸，后給出整個表面的缺陷分布圖以及檢測報告。根據預先設定的標準，可以給出檢測樣品合格與否的判斷。在化合物外延領域擁有很高的市場占有率。
◆ Candela?8420/8400適用于Si晶圓、GaAs、InP, GaN、藍寶石基片及藍寶石外延片表面缺陷檢測分析，包含微粒、劃傷、坑點、污染、痕跡。該設備可以兼容透明片和不透明片。
