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新耕（上海）貿(mào)易有限公司

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工藝設(shè)備Process Tool

干法刻蝕設(shè)備 ICP
ICP 深硅刻蝕設(shè)備DSE

干法去膠設(shè)備High Density Radical Flux

長膜設(shè)備 PECVD & ALD & LPCVD
薄膜沉積設(shè)備PECVD 原子層沉積設(shè)備ALD

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光刻設(shè)備Lithography

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科研型刻蝕和薄膜沉積設(shè)備R&D ICP & PECVD
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