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電阻測試儀 KLA R50/R54
產品概述： KLA RR50/R54的設計代表了KLA超過45年電阻測量較領先技術地址的之作，自1975年KLA的第一臺電阻測量儀問世以來，KLA電阻測試家族產品已經革命性的改變了導電薄膜電阻和厚度的測量方式。銷售聯系方式：陳正毅 18918393229。
產品簡介：

KLA RR50/R54的設計代表了KLA超過45年電阻測量較領先技術地址的之作，自1975年KLA的第一臺電阻測量儀問世以來，KLA電阻測試家族產品已經革命性的改變了導電薄膜電阻和厚度的測量方式。電阻測量和監控對于任何使用導電薄膜的行業都至關重要，從半導體制造到可穿戴技術所需的柔性電子產品。

主要應用：

金屬薄膜膜厚量測和均勻性分析

離子摻雜/注入濃度量測

薄膜厚度和電阻率分布

主要特點：

接觸式四點探針（4PP）和接觸式電渦流（EC）

100mm Z行程，高精度控制

導體和半導體薄膜電阻，10個數量級范圍適用

測試點自定義編輯，包括矩形，線性，極坐標以及自定義配置

200mm XY電動平臺，大可支持300mm晶圓

軟件靈活易用

兼容KLA所有電阻測試探針

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