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真空固化爐YES/Scientech PI OVEN
產品概述： Yield Engineering Systems, Inc.是全自動真空固化爐設備的制造商，設備廣泛用于半導體晶片、半導體封裝和MEMS器件的批量生產。銷售聯系方式：李暉 18918393272。
關于YES：

Yield Engineering Systems, Inc.是全自動真空固化爐設備的制造商，設備廣泛用于半導體晶片、半導體封裝和MEMS器件的批量生產。

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                          Model：VertaCure XP

主要應用領域：

YES產品可用于高溫固化和低溫烘烤，半導體后段封裝IDM/Foundry，OSATs，OEM，etc。

銷售實績：

在InFO, CoWoS, Copper Pillar, WLCSP和下一代材料和工藝開發的先進封裝廠，有超過320臺的銷售實績(并在不斷增加)。

設備主要特點：

? 全自動真空固化，8寸/12寸兼容

  更低的溫度，更低的CoO和更高的產能。

? 低PPM氧氣水平，在亞大氣壓下實現真空固化。

? 縮短了固化時間，降低了資金成本，提高了60%的生產能力。

? 工藝腔體內優異的水平層流設計，改善particle，節約N?消耗量。更低的CoO。

? 高于95%的設備稼動率。

? 溫度控制均勻度為1.0%，提高晶圓溫度均勻性。

? 快速的加熱和冷卻性能，已證明可減少35%的固化時間。

? 所有接觸加工的材料均為316L不銹鋼或鈦

? EFEM，4LPs 2PM, 200/300mm system。

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