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電鍍設備
產品概述： Classone是致力于單片電鍍設備的世界知名設備提供商， 產品涵蓋2”~ 8”主流電鍍工藝，廣泛應用于三五族(GaAs / SiC )、GaN功率及射頻器件、VCSELs器件等化合物產業，以及MEMS和Si基半導體產業。銷售聯系方式：李安芃 18918393270。
產品描述：

Classone是致力于單片電鍍設備的世界知名設備提供商， 產品涵蓋2”~ 8”主流電鍍工藝，廣泛應用于三五族(GaAs / SiC )、GaN功率及射頻器件、VCSELs器件等化合物產業，以及MEMS和Si基半導體產業。

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儀器簡介：

配置：2”~8” 手動2腔 / 全自動4腔(片盒對片盒) / 全自動8腔(片盒對片盒)

領域 :三五族(GaAs / SiC)，GaN功率及射頻器件、VCSELs的器件等化合物產業及MEMS和Si基半導體產業等

制程 : 單片金屬電鍍包含，Au，Cu，Ni，Sn，Ag, In，SnAg等金屬

特點：

Classone公司有多年研發及制造單片電鍍設備的技術經驗，團隊的主要技術人員來自某12寸單片電鍍設備的廠家。

Classone設備具有高穩定性與高可靠度

Classone有的軟硬件設計及完善QC系統

Classone設備配置靈活，包含手動、半自動、全自動4腔或者8腔(片盒對片盒)型號滿足實驗室研發及量產客戶需求

Classone單片電鍍設備在化合物半導體行業內高占有率：目前世界范圍內裝機數量超過100臺

Classone電鍍設備主要技術優勢：

單片的face-down電鍍方式

接觸樣片的電極和密封環的分體設計，防止密封環釋放的時候黏連樣片造成碎片

流場通過diffuser的過濾，確保接觸樣片的區域佳的電鍍液濃度均勻性

Au電鍍利用獨特的硬件設計，防止電鍍頭旋轉造成的電鍍圖形表面斜面的缺陷；

Cu電鍍，電鍍液和添加劑的單向通道設計，防止設備的陽極燒添加劑，節省添加劑成本超過90%；

對高深寬比的圖形側壁電鍍均勻性極佳。

應用領域：

三五族化合物半導體(GaAs / SiC，GaN功率及射頻器件)

MEMS微機電

濾波器器件

石英基底的光通訊器件

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Au材料孔的側壁及底面電鍍

5(1).png

Cu材料孔的填充

6(1).png

SnAg/Cu的多層電鍍

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