Muetec設備是一款廣泛適用于硅基半導體以及化合物半導體行業(yè)的多功能量測和檢測設備，Muetec設備搭配多個波段的光源，從DUV到UV、可視光、紅外波段，用以實現(xiàn)不同量測的需求。自動對焦功能模塊及機械手臂和片盒，可以實現(xiàn)對多尺寸樣片（ 6”和8”）的全自動關鍵線條寬度和套刻檢測、缺陷檢測, 以及薄膜厚度量測，其高重復性和高穩(wěn)定性的特性使其適用于大規(guī)模生產(chǎn)型客戶。
◆Critical Dimension關鍵線寬量測；
◆套刻精度量測；
◆Pattern 缺陷檢測；
◆薄膜厚度量測；
◆快速Marco缺陷檢測。
◆ 化合物半導體：GaAs，InP, SiC，GaN
◆ 硅基器件前段：功率器件，MEMS，射頻MEMS
◆ 硅基器件后段：8”和12”的封裝及bumping線
◆ LED、光通訊、石英材料類
◆ 掩膜版的CD量測和缺陷檢測
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