技術參數:
P3D光學輪廓儀是一種非接觸式3D表面形貌測量系統。P3D的白光干涉儀可以埃級分辨率對表面進行高分辨率測量。 該系統支持相位和垂直掃描干涉測量,兩者都是傳統的相干掃描干涉技術(CSI)。
P3D測量技術的優勢在于測量的垂直分辨率與物鏡的數值孔徑無關,因而能夠在大視野范圍內進行高分辨率測量。測量區域可以通過將多個視場拼接為同一個測量結果而進一步增加。 P3D的用戶界面創新而簡單,適用于從研發到生產的各種工作環境。
臺階高度:納米級到毫米級的3D臺階高度
紋理:3D粗糙度和波紋度
形式:3D翹曲和形狀
邊緣滾降:3D邊緣輪廓測量
缺陷復檢:3D缺陷表面形貌